特集 そして、すべてのメモリは不揮発になる。〜セル面積の縮小が急務 まずはDRAMの2〜3倍へ
日経エレクトロニクス 第789号 2001.2.12
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第789号(2001.2.12) |
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ページ数 | 6ページ (全6304字) |
形式 | PDFファイル形式 (132kb) |
雑誌掲載位置 | 172〜177ページ目 |
「強誘電体メモリ(FeRAM)でDRAMを置き換えるのは至難の技」。多くのメモリ・メーカがそう指摘する一方で,「いや,決して不可能ではない」と主張するメーカがある。DRAMで確立したメモリ・セルの縮小技術をそのまま転用できれば,DRAMに匹敵する容量,コストのFeRAMが実現可能というわけだ。そのカギを握るのが強誘電体キャパシタの小型化,そして3次元化。これを実現できれば,FeRAMはポストDRA…
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