Ｋｅｙ　Ｗｏｒｄ　キー・ワード〜『ガス・クラスタ』
日経マイクロデバイス　第285号　2009.3.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第285号（2009.3.1）
ページ数	1ページ　（全734字）
形式	PDFファイル形式　（1677kb）
雑誌掲載位置	13ページ目

　数千〜数千万個の気体分子の固まりをガス・クラスタと呼ぶ。単独の分子よりも質量が大きいために，加工に使う場合，加工対象に低速で衝突させても，高いエネルギーを与えることができる。最近になって，こうした特徴を生かしてガス・クラスタをデバイスの製造や材料の評価向けに適用する例が相次いでいる。　ガス・クラスタは，ノズルから高圧の反応性ガスを低圧の真空チャンバ内に放出して形成する。この際の気圧差によってガス…