Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜マイクロパイプ・フリーの１００ｍｍ径ＳｉＣ基板をＣｒｅｅが供給開始
日経マイクロデバイス 第270号 2007.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第270号（2007.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全448字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （312kb） |
| 雑誌掲載位置 | 212ページ目 |
「ＩＣＳＣＲＭ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ ｏｎ Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｃａｒｂｉｄｅ ａｎｄ Ｒｅｌａｔｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ） ２００７の最大のニュースになりそうだ」と多くの参加者が口をそろえる成果を米Ｃｒｅｅ， Ｉｎｃ．が発表した。マイクロパイプ（中空貫通欠陥）フリーをうたうｎ型の４Ｈ−ＳｉＣ基板の供給開始である。これは１００ｍｍ径ＳｉＣ基板である。今回の基板は，マイクロ…
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