Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜鏡面を３２個のアクチュエータで制御し波面収差を抑制するデバイス
日経マイクロデバイス 第269号 2007.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第269号（2007.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全202字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （259kb） |
| 雑誌掲載位置 | 120〜121ページ目 |
フランスのＭＥＭＳＣＡＰ ＳＡは，米Ｂｏｓｔｏｎ Ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｓ Ｃｏｒｐ．（ＢＭＣ）のＭＥＭＳミラーを製造していることを明らかにした。ＢＭＣのＭＥＭＳミラーは，鏡面の裏面に３２個の静電アクチュエータを搭載し，それぞれの静電アクチュエータを制御して波面収差の抑制を可能にしたデバイス「Ｍｉｎｉ−ＤＭ」である。網膜の観察などに利用でき，より鮮明な画像が得られるようになるという。（９月１８…
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