Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜オムロン，ＭＥＭＳ流量センサーを発売サイクロンで粉塵を除去してからセンサーに導く
日経マイクロデバイス　第269号　2007.11.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第269号（2007.11.1）
ページ数	1ページ　（全283字）
形式	PDFファイル形式　（259kb）
雑誌掲載位置	120ページ目

　オムロンは，ホコリや粉塵の多いところで使えるＭＥＭＳ流量センサーを開発した。家庭やオフィスの空調機器の制御に向けて開発した。小型で機器に組み込みやすく，高感度で信頼性が高いのが特徴である。センサー部に導く気体からホコリや粉塵を取り除くために，サイクロン方式の立体流路構造を設けた。ＭＥＭＳ流量センサー部は外形寸法が１．５５ｍｍ×１．５５ｍｍ×０．４ｍｍで，Ｓｉ基板上にヒーターと熱電対を設けた。流量…