Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜東レ，硬化温度２００℃以下でアルカリ現像できる感光性ポリイミドを発売耐熱性と低温硬化の両立を目指す
日経マイクロデバイス 第262号 2007.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第262号（2007.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全333字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （288kb） |
| 雑誌掲載位置 | 102ページ目 |
東レは，２００℃以下で硬化でき，汎用のレジスト現像液であるアルカリ水溶液で現像が可能な感光性ポリイミド・コーティング剤を開発した。同社の感光性ポリイミド・コーティング剤「フォトニース」の新製品「ＰＮ」シリーズとして販売を開始した。独自の分子構造により，イミド閉環した状態でも，フォトレジストに使われるプロピレン・グリコール・モノメチルエーテルなど沸点２００℃以下の溶媒に溶ける。同製品は，耐熱性と低…
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