Inside MEMS 囲み 1チップのSi電子コンパス,携帯電話機向けに量産〜自動車向け2軸品ではスイスSentronが先行
日経マイクロデバイス 第262号 2007.4.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第262号(2007.4.1) |
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ページ数 | 1ページ (全636字) |
形式 | PDFファイル形式 (912kb) |
雑誌掲載位置 | 77ページ目 |
磁気収束板を使って,Si基板と水平方向の磁束を検出する素子の実用化では,スイスSentron AGが2軸品で先行している。3軸品については開発中であり,2007年2月の国際学会「Internatio−nal Solid State Circuits Conference(ISSCC) 2007」で発表済みである。 ここでは,旭化成マイクロシステムが明らかにしていないチップのレイアウトを示している…
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