Inside MEMS〜1チップのSi電子コンパス携帯電話機向けに量産開始
日経マイクロデバイス 第262号 2007.4.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第262号(2007.4.1) |
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ページ数 | 4ページ (全3620字) |
形式 | PDFファイル形式 (912kb) |
雑誌掲載位置 | 75〜78ページ目 |
電子コンパスをSiの1チップで実現する技術について,旭化成マイクロシステムが本誌にその詳細を明らかにした。これまで組立工程で実装していた3軸地磁気センサーを半導体の前工程で実現することから,大幅な低コスト化が見込める。低コスト化によって電子コンパスの携帯電話機への搭載を促す。歩行者ナビゲーションなどの新サービスの普及も加速する。同社は,磁気収束板と呼ぶ磁気薄膜を使い,Si基板上で地磁気センサーの3…
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