Ｗａｔｃｈｅｒ［Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ］　ウオッチャ〜ウエーハ・レベル・テストが重要に
日経マイクロデバイス　第259号　2007.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第259号（2007.1.1）
ページ数	1ページ　（全1781字）
形式	PDFファイル形式　（126kb）
雑誌掲載位置	141ページ目

　ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスのテスト工程について述べる。テスト・コストがデバイスの製造コストに占める比率は，民生品の１５％から医療・航空用の３０％まである。半導体と比べてはるかに高い。　ＭＥＭＳデバイスのテストは，ＬＳＩなどの電子デバイスに比べて複雑である。これは，温度や環境の変化に応じた電気特性のテストに加え，圧力や加速度など外部からの物…