Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳの装置・ファウンドリ ＬＳＩ分野への事業展開に本腰
日経マイクロデバイス 第258号 2006.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第258号（2006.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2733字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （323kb） |
| 雑誌掲載位置 | 172〜173ページ目 |
「軌道に乗り始めた既存事業を今後も確実に拡大させたい」。２００６年１１月７〜９日に開催されたＭＥＭＳ関連の展示会「第１７回 マイクロマシン展」からは，このようなＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）製造装置・部材各社の意向が見えた。突飛な提案や新技術は鳴りを潜め，用途が明確な展示が注目を集めた注１）。出展者から聞こえてきたのも「この技術は大手顧客が来年に製品…
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