Ｉｎｓｉｄｅ　ＭＥＭＳ　量産が始まったＭＥＭＳ発振器の実力，高信頼性〜水晶発振器を上回る　信頼性データを公開
日経マイクロデバイス　第258号　2006.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第258号（2006.12.1）
ページ数	4ページ　（全5512字）
形式	PDFファイル形式　（590kb）
雑誌掲載位置	166〜169ページ目

Ｊｏｈｎ　ＭｃＤｏｎａｌｄ米ＳｉＴｉｍｅ　Ｃｏｒｐ．ＶＰ　ｏｆ　Ｓａｌｅｓ　ａｎｄ　Ｍａｒｋｅｔｉｎｇ　ＭＥＭＳ技術を使いＳｉで作った発振器「Ｓｉ発振器」の量産を始めた（図３）。水晶発振器に匹敵する性能と，水晶発振器より小型，低コスト，高信頼を実現している。今回，信頼性データの詳細について明らかにする。「０８０６型」でＬＳＩパッケージ内蔵可能に　われわれは，２００６年４月に業界初となるＳｉ発振器の…