Ｉｎｓｉｄｅ ＭＥＭＳ〜量産が始まったＭＥＭＳ発振器の実力 高信頼性と高精度を両立
日経マイクロデバイス 第258号 2006.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第258号（2006.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 3ページ （全2980字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （590kb） |
| 雑誌掲載位置 | 163〜165ページ目 |
年間数十億個の量産個数を期待できるＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイス「ＭＥＭＳ発振器」の量産がいよいよ始まった。シリコン・バレーにあるベンチャ企業の米ＳｉＴｉｍｅ Ｃｏｒｐ．が，２００６年１０月より量産中である。同社に続き，米国の複数のベンチャ企業が２００６〜２００７年に量産化する。今回，ＭＥＭＳデバイスに共通の課題となる信頼性を高める技術を中心に…
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