Ｋｅｙ Ｗｏｒｄ 今月のキー・ワード〜『ベベル』
日経マイクロデバイス 第258号 2006.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第258号（2006.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全914字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （151kb） |
| 雑誌掲載位置 | 23ページ目 |
Ｓｉウエーハの端面および周辺の傾斜部をベベルと呼ぶ。このベベルに対応するプロセス装置や検査装置が相次いで登場している。ベベルの異物や膜の除去装置を，大日本スクリーン製造が２００６年１０月に，東京精密が１１月にそれぞれ発売した。これに続き，米ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ Ｃｏｒｐ．が，ベベルの異物や欠陥を検出するウエーハ検査装置を開発し，２００７年第１四半期に大手ＬＳＩメーカー向けに出荷を開始する（図１）…
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