Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓの新ＭＥＭＳセンサー計画 ＳＯＩウエーハ使うデバイスを２００６年量産化
日経マイクロデバイス 第257号 2006.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第257号（2006.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全209字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （222kb） |
| 雑誌掲載位置 | 109ページ目 |
米Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ， Ｉｎｃ．の日本法人，アナログ・デバイセズがＭＥＭＳ技術を使った車載向け新型センサーの製品化計画を明らかにした。同社のＳＯＩウエーハを使った新構造の加速度／角速度センサーは，現在，サンプル出荷の段階だが，自動車向けを見込んで，２００６年中に量産に入る予定である。この量産が順調に進めば民生機器分野にも同デバイスを展開し，早ければ２００７年に民生機器向けの量産を開始す…
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