Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＰＺＴ薄膜を半導体技術で製造する装置 アルバックが製品化
日経マイクロデバイス 第257号 2006.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第257号（2006.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全394字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （222kb） |
| 雑誌掲載位置 | 108ページ目 |
アルバックは，ＭＥＭＳデバイスに多く使われるＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）薄膜を半導体技術で形成，加工する技術を装置化した。ＰＺＴは，ひずみの検出や電圧をかけてひずませたりするピエゾ素子として使われる。加速度センサー，プリンタ用ヘッド，ハード・ディスク装置用磁気ヘッド，マイクロ・ポンプ，光スイッチ素子，マイクロ・ミラー・デバイスなど幅広い素子に応用できる。今回の技術では，ＰＺＴ薄膜をスパッタリ…
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