Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜米Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ 加速度センサーと角速度センサーの１チップ品 ２００８〜２００９年メドに製品化
日経マイクロデバイス 第257号 2006.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第257号（2006.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全515字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （222kb） |
| 雑誌掲載位置 | 108ページ目 |
米Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ， Ｉｎｃ．の日本法人，アナログ・デバイセズは９月２６日，ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を使った車載向け製品に関する新型センサーの製品化計画を明らかにした。（１）加速度センサーと角速度センサーを１チップ化したデバイス，（２）Ｓｉマイク，（３）ＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）ウエーハを使った新構造の加…
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