Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜伊仏ＳＴ，ＭＥＭＳ利用の圧力／角速度センサーを ２００７年にサンプル出荷
日経マイクロデバイス 第257号 2006.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第257号（2006.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全306字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （222kb） |
| 雑誌掲載位置 | 109ページ目 |
伊仏ＳＴＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ社は，ＭＥＭＳ技術による圧力センサーと角速度（ジャイロ）センサーをそれぞれ２００７年にサンプル出荷する。加速度センサーで培ったＭＥＭＳ技術を応用し，低価格化と高性能化を両立して民生機器向けに売り込む。圧力センサーは，大量出荷を見込める市場に向ける。Ｓｉ薄膜の圧力による変化をピエゾ抵抗で検知する方式で，低コスト化しやすい樹脂封止技術を採用する。角速度センサー…
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