Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜ＬＳＩ製造における空気中汚染を リアルタイムで分析できるセンサー
日経マイクロデバイス 第257号 2006.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第257号（2006.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全365字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （255kb） |
| 雑誌掲載位置 | 105ページ目 |
富士通研究所は，ＬＳＩ製造ラインでウエーハ搬送に使う容器（ＦＯＵＰ）内での空気中汚染を，リアルタイムで分析できるセンサーを開発した。今後，富士通のＬＳＩ製造プロセスで効果を検証する。今回の富士通研が開発した水晶発振子センサー（ｑｕａｒｔｚ ｃｒｙｓｔａｌ ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃｅ：ＱＣＭ）をＦＯＵＰ内に設置することにより，リアルタイムで空気中の汚染物質を分析できる。汚染原因を早期に特定し，対策を…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全365字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜液浸露光の国際会議，量産目前の成果続出 水液浸の“次”を探る動きも
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜ひずみＳｉ向けのバッチ式ＳｉＧｅ成膜装置 アルバックが開発
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜５５型の「ＳＥＤ」 「ＣＥＡＴＥＣ ＪＡＰＡＮ ２００６」で 映像を初公開
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜５５型「ＳＥＤ」パネル 映像初公開の反響 高い評価が相次ぐ
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜シャープが亀山第２工場を公開 太陽電池をはじめ あらゆる環境技術を導入
