Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜有機ＥＬ材料の解析などに使える分光装置 アルバック・ファイが受注を開始
日経マイクロデバイス 第256号 2006.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第256号（2006.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全245字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （255kb） |
| 雑誌掲載位置 | 101ページ目 |
アルバック・ファイは，対応できる材料の種類やパラメータを従来に比べて増やした走査型Ｘ線光電子分光分析装置「ＰＨＩ ５０００ ＶｅｒｓａＰｒｏｂｅ」を開発し，８月から受注を開始した。有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ向け材料の元素組成や電子構造の解析など，これまでの分光装置では難しかった用途で使える。半導体や金属，樹脂など各種材料の表面から深さ１０ｎｍまでの元素組成や化…
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