Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 有機材料の解析に使える〜有機材料の解析に使える Ｘ線光電子分光分析装置「ＰＨＩ ５０００ ＶｅｒｓａＰｒｏｂｅ」
日経マイクロデバイス 第256号 2006.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第256号（2006.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全525字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （337kb） |
| 雑誌掲載位置 | 173ページ目 |
従来の無機材料に加えて，有機材料の解析にも使えるようにしたＸ線光電子分光分析装置（図１）。材料の表面から深さ１０ｎｍまでの元素の種類と化学結合状態を解析できる。有機材料向けに使えるようになったのは，Ｘ線解析に先立ちフラーレン（Ｃ６０）イオンを材料に照射し，解析の妨げとなる汚染元素を除去できるようにしたことによる。従来はＡｒイオンを照射する方式が一般的だったが，Ｃ６０イオンに比べて有機材料に損傷を…
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