Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜２ｍｍ角の３軸加速度センサー　日立金属が新構造で開発中
日経マイクロデバイス　第256号　2006.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第256号（2006.10.1）
ページ数	2ページ　（全2577字）
形式	PDFファイル形式　（218kb）
雑誌掲載位置	92〜93ページ目

　日立金属が，パッケージ寸法が２ｍｍ角で厚さ０．９２ｍｍ以下と，小型の３軸加速度センサーを開発中である（図１）。同社は，２００６年８月に２．９ｍｍ×２．９ｍｍ×０．９２ｍｍと世界最小の３軸品を製品化した注１）（図２）。この開発が一段落したことから，このほど，さらなる小型品の開発に着手した。２ｍｍ角または２．５ｍｍ角で０．８〜０．９２ｍｍ厚とする。２００８年の量産化を目指す。　小型化を進めるのは「携…