Emerging Technology〜フラッシュ混載SoC 1種類のMOS FETで安価に実現
日経マイクロデバイス 第254号 2006.8.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第254号(2006.8.1) |
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ページ数 | 1ページ (全972字) |
形式 | PDFファイル形式 (132kb) |
雑誌掲載位置 | 3ページ目 |
一つのMOS FETをロジック向けトランジスタとフラッシュ・メモリーのどちらにも使えるようにする。こうしたデバイスを韓国Samsung Electronics Co., Ltd.が開発した(図1(a))。1チップにこのMOS FETを多数集積しておくと,フラッシュのための新規プロセスを使わずに低コストでフラッシュ混載SoC(system on a chip)を実現できる。基板に埋め込んだONO膜…
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