Key Person キー・パーソン〜日本のMEMS研究は異分野が強くする
日経マイクロデバイス 第254号 2006.8.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第254号(2006.8.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2880字) |
形式 | PDFファイル形式 (226kb) |
雑誌掲載位置 | 26〜27ページ目 |
30年以上にわたってMEMS(micro electro mechanical systems)技術の研究を続け,この分野をリードしている東北大学教授の江刺正喜氏に,大量生産時代のMEMSと,日本と海外におけるMEMS研究の相違について聞いた。MEMSデバイスの事業化を進める企業には海外のベンチャが多いが,その一因が日本の大学での研究環境にあるという。東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻…
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