Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳデバイス向けに拡大する　ＳＯＩウエーハ市場を読む（１）
日経マイクロデバイス　第252号　2006.6.1

　厚膜ＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ　ｏｎ　ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）は，ＭＥＭＳおよびパワー・デバイス・メーカーが量産向けに導入していることで，ＳＯＩ全体の２０％以上を占めるようになった。一方，半導体産業では引き続き薄膜ＳＯＩが主流である。ＭＥＭＳ業界では，精密なエッチング・ストップを可能にして，構造の厚さを制御するために，厚膜ＳＯＩを採用している。パワー・デバイス分野では，ＩＧＢＴ（ｉｎｓｕｌａｔｅｄ　ｇａ…