Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜三菱重工業の量産向け常温接合装置 処理時間を１／１０に削減可能
日経マイクロデバイス 第252号 2006.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第252号（2006.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全432字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （123kb） |
| 雑誌掲載位置 | 94〜95ページ目 |
三菱重工業は，量産向けに処理速度を高めた常温ウエーハ接合装置を４月１９日に発売する。従来の陽極接合装置では３〜４時間かかっていたウエーハの接合処理時間を２０分以内と約１／１０に削減できる。今回の常温ウエーハ接合技術は，産業技術総合研究所との共同開発成果である。Ａｒ原子ビームで表面を清浄化・活性化した２枚のウエーハを圧接することで，常温（室温）で母材強度と同等の強固な接合が得られる。加熱しないので…
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