Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ プローブの位置合わせを短時間化〜プローブの位置合わせを短時間化
日経マイクロデバイス 第250号 2006.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第250号（2006.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全543字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （124kb） |
| 雑誌掲載位置 | 110ページ目 |
ＬＳＩの不良個所をチップの裏面から検出する裏面検出型の故障解析装置（図５）。従来に比べてプローブの操作性を高めたのが特徴である。裏面検出型では，プローブでチップ表面から回路に電圧を加え，不良個所で放出された光をチップ裏面で検出する。これまではチップ裏面で光検出器の位置合わせを行いながら表面のプローブを操作していたため，プローブの位置合わせに時間がかかっていた。今回は，光検出器の位置合わせを自動化…
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