Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳの応用範囲をエンジン内に 高温に耐えるセンサーをＳｉＣで
日経マイクロデバイス 第250号 2006.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第250号（2006.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2569字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （65kb） |
| 雑誌掲載位置 | 84〜85ページ目 |
数百℃の高温で動作し，自動車エンジンのスパーク・プラグに実装して使えるセンサーの開発計画を米Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ， Ｂｅｒｋｅｌｅｙが明らかにした。このセンサーは，温度，圧力，加速度，ひずみを１チップで検知できるＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を使ったデバイスである。エンジン内の温度や圧力をこれまでより正確に把握して，制…
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