Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜５０μｍ×５０μｍの圧力センサー・チップ “ゼラチン封止”で作成
日経マイクロデバイス 第249号 2006.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第249号（2006.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全376字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （244kb） |
| 雑誌掲載位置 | 87ページ目 |
台湾Ｔａｍｋａｎｇ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙのＤｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ａｎｄ Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇは，５０μｍ×５０μｍの小型の圧力センサー・チップを開発し，「ＭＥＭＳ ２００６」で発表した（論文番号：ＭＰ２８）。圧力センサー部となる薄膜の形成手法に工夫を加えて小型化したと同時に，センサー部の封止のためにゼラチンを使った。具体的には，…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全376字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜直方体のジャイロ・センサー 兵庫大学が「ＭＥＭＳ ２００６」で発表
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＣＭＯＳプロセスによる触覚センサー 「ＭＥＭＳ ２００６」で台湾の大学が発表
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜「過去に儲からなかったのには理由がある」 富士通が「電子デバイス事業戦略」を発表 小野氏が半導体戦略を語る
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜キヤノンが勝ち組になった理由 「ＡＳＰーＤＡＣ ２００６」の 基調講演に見た
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜地道な努力を積み重ね 「Ｃｅｌｌ」のＳＰＵの実機バグは１件だけ 「ＡＳＰ−ＤＡＣ ２００６」のセッションで発表
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜直方体のジャイロ・センサー 兵庫大学が「ＭＥＭＳ ２００６」で発表
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＣＭＯＳプロセスによる触覚センサー 「ＭＥＭＳ ２００６」で台湾の大学が発表
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜「過去に儲からなかったのには理由がある」 富士通が「電子デバイス事業戦略」を発表 小野氏が半導体戦略を語る
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜キヤノンが勝ち組になった理由 「ＡＳＰーＤＡＣ ２００６」の 基調講演に見た
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜地道な努力を積み重ね 「Ｃｅｌｌ」のＳＰＵの実機バグは１件だけ 「ＡＳＰ−ＤＡＣ ２００６」のセッションで発表
