Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜直方体のジャイロ・センサー 兵庫大学が「ＭＥＭＳ ２００６」で発表
日経マイクロデバイス 第249号 2006.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第249号（2006.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全418字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （244kb） |
| 雑誌掲載位置 | 87ページ目 |
兵庫県立大学は，数ｍｍ程度の直方体という単純な形状の１軸ジャイロ・センサーを開発，開催中の学会「ＭＥＭＳ ２００６」で発表した（講演番号：ＴＰａ３２）。ＰＺＴ材料で構成し，これに電極を付けている。電極には，駆動用，検出用，振動モニター用がある。一般にジャイロ・センサーでは，デバイスを振動させるなどして動きを与えた状態で，振動と直角方向の角速度で発生するコリオリ力から角速度を検出する。振動は，ＰＺ…
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