Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＣＭＯＳプロセスによる触覚センサー 「ＭＥＭＳ ２００６」で台湾の大学が発表
日経マイクロデバイス 第249号 2006.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第249号（2006.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全424字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （244kb） |
| 雑誌掲載位置 | 87ページ目 |
台湾Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｔｓｉｎｇ Ｈｕａ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙは，ほとんどの工程をＣＭＯＳプロセスで実現できる触覚センサーを開発，「ＭＥＭＳ ２００６」で発表した（講演番号：ＴＰａ３４）。開発したセンサーでは，手などで触れる部分を保護膜を付けた金属薄膜で構成し，これとその下層の金属薄膜とでキャパシタを構成する。触れると，金属薄膜間の距離が短くなってキャパシタの容量が変わる。この変化から触覚を検知…
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