Tech−On!Ranking[MEMS]〜“Siアンテナ”の低コスト化手法 三菱電機が提案
日経マイクロデバイス 第249号 2006.3.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第249号(2006.3.1) |
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ページ数 | 1ページ (全463字) |
形式 | PDFファイル形式 (244kb) |
雑誌掲載位置 | 86ページ目 |
三菱電機は,Siウエーハを使って構成するアンテナを低コストに実現する手法を開発し,「MEMS 2006」で発表した(論文番号:MP48)。Siウエーハ上にアンテナを形成すると,他のRF部品もここに混載が容易になり,低コストで小型のアンテナ一体型RFモジュールが実現できる。今回,同社が開発したのは,Siウエーハに形成した導電体パターンによる80GHz帯向けアンテナである。既存のモジュール型アンテナ…
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