Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜米Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ ＳＯＩ技術によるＳｉマイクを発表
日経マイクロデバイス 第249号 2006.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第249号（2006.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全254字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （244kb） |
| 雑誌掲載位置 | 86ページ目 |
米Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ， Ｉｎｃ．（ＡＤＩ）は，ＭＥＭＳ技術を使ったＳｉ製のマイクを開発し，「ＭＥＭＳ ２００６」で発表した。ＡＤＩの今回の技術では，現在，同社が加速度センサーやジャイロ・センサー向けに生産実績のあるプロセスをＳｉマイクに適用している。このプロセスは，ＳＯＩウエーハを使ってＭＥＭＳ部を少ないステップ数で実現できるようにしている。ただし，多結晶Ｓｉを薄膜部に使っており，この…
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