Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜１ミラー方式の走査型プロジェクタ ＭＥＭＳ使わず安価で高速に 産総研が「ＭＥＭＳ ２００６」で発表
日経マイクロデバイス 第249号 2006.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第249号（2006.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全316字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （244kb） |
| 雑誌掲載位置 | 86ページ目 |
産業技術総合研究所は，１ミラーを２次元走査してＨＤ（ｈｉｇｈ ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）画像を表示できるプロジェクタを低コストに実現する技術を開発し，「ＭＥＭＳ ２００６」で発表した（論文番号：ＭＰ３９）。レーザー光を走査するためのミラー駆動デバイスをＭＥＭＳ技術ではなく金属プレス加工技術で実現する。今回の技術では，ミラー駆動部を４ｍｍ×８ｍｍ程度で厚さ３０〜５０ μｍのステンレス（ＳＵＳ３０４）で…
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