Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ２２００ｍｍ×２５００ｍｍのガラス基板に対応〜基板搬送ロボット「ＭＯＴＯＭＡＮ−ＣＨＬ２４００Ｄ−４７００」
日経マイクロデバイス 第245号 2005.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第245号（2005.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全580字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （301kb） |
| 雑誌掲載位置 | 109ページ目 |
２２００ｍｍ×２５００ｍｍの大型ガラス基板の搬送を可能にしたロボット（図６）。液晶パネル・メーカーが２００６年に稼働を予定している第８世代のＴＦＴ液晶パネル生産ラインに対応する。第８世代の大型基板に対応するために，フォーク状の基板搬送部分を上下方向に動かす方法を変えた。従来は，ロボットのアーム部分をパンタグラフのように折り曲げることで，基板搬送部分を上下方向に動かしていた。この方式だと，上下３ｍ…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全580字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ チップの電源系の接続関係をチェック〜ＬＳＩ解析用ＥＤＡツール「ＣｏｏｌＣｈｅｃｋ」
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 素子のプロービングを高速化〜Ｓｉウエーハの撮像装置「ｅＶｕｅ」
Ｗａｔｃｈｅｒ［Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ］ ウオッチャ〜８月の世界半導体売上高 一転して増加基調に １〜８月の累計は５．８％増
ＭＥＭＳ Ｇｌｏｂａｌ Ｖｉｅｗ ウオッチャ〜自動焦点モジュール開発が活発に
Ｗａｔｃｈｅｒ［Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ］ ウオッチャ〜台湾・中国 中根レポート 台湾の受託製造企業 半導体は前工程・後工程とも ８月は前月比２ケタ増と好調
