Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜「ＭＥＭＳの本質を理解する」（７）　デバイスの製造・検査にも
日経マイクロデバイス　第245号　2005.11.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第245号（2005.11.1）
ページ数	1ページ　（全264字）
形式	PDFファイル形式　（259kb）
雑誌掲載位置	103ページ目

　ＭＥＭＳ技術は，デバイスの製造や検査にも応用できる。そのような例として，半導体テスターへの応用例などを紹介する。製造・検査分野では，半導体テスト向けのマイクロプローバ，プロセス用のガス制御システムを取り挙げる。ガス制御システムでは，耐食性を高めた集積化マスフロー・コントローラを東北大学が開発している。熱型流量センサーと積層型圧電アクチュエータで動くバルブから成る。医学・バイオ分野では，血管内など…