Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ソニーがＭＥＭＳフィルタを開発 ＶＨＦ帯でＳＡＷ代替へ
日経マイクロデバイス 第245号 2005.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第245号（2005.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全307字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （259kb） |
| 雑誌掲載位置 | 102ページ目 |
ソニーは，ＶＨＦ帯（９０Ｍ〜２２０ＭＨｚ）に向けた周波数フィルタをＭＥＭＳ技術によって開発，バイ−ＣＭＯＳ ＬＳＩ上に集積した。２００５年１２月に開催される「２００５ ＩＥＤＭ」で発表する。共振器には，梁を共振させる「ｃｌａｍｐｅｄ−ｃｌａｍｐｅｄ ｂｅａｍ」型を採用した。今回，これを複数組み合わせて帯域通過フィルタを作った。既存のＳＡＷ（表面弾性波）フィルタに比べて，小型化・集積化しやすい上，…
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