Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜日立ツールの微細切削工具 ＭＥＭＳ使わずバイオ・チップ 機械加工で高速・低コストに
日経マイクロデバイス 第245号 2005.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第245号（2005.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全304字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （259kb） |
| 雑誌掲載位置 | 102ページ目 |
日立ツールは，ガラス製の微小デバイスを機械加工するための微細切削工具を開発した。直径が最小０．０３ｍｍ（３０μｍ）の切削工具で，ガラス表面を高速かつ低コストに加工できるとする。従来は，ウエット・エッチングなどＭＥＭＳ技術で実現していたガラス表面の加工を置き換える可能性がある。加工時間は，従来の１０分の１程度になるという。加工コストもケタ違いに下げられるとする。表面にＴｉやＳｉなどを含有したセラミ…
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