Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜三井化学，屈折率１．６３の 液浸露光向け新型液体を開発
日経マイクロデバイス 第245号 2005.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第245号（2005.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全212字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （253kb） |
| 雑誌掲載位置 | 99ページ目 |
三井化学は，屈折率が１．６３と高い液浸露光向けの高屈折率液体「デルファイ（開発コード名）」を開発した。半導体先端テクノロジーズ（Ｓｅｌｅｔｅ）で評価した結果，線幅３２ｎｍ／線間隔３２ｎｍのパターンを解像できることを確認した。技術の詳細は，９月に開催の「２ｎｄ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ ｏｎ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ」で三井化学とＳｅｌｅｔｅとで共同発表する…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全212字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜欠陥レベルは ドライ露光に「あと一歩」
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜高屈折率の液体とガラス材料は 同時にそろうか
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜「ＣＥＡＴＥＣ ＪＡＰＡＮ ２００５」で フルＨＤ５５型ＳＥＤが２台展示 ３６型は「リビング相当の明るさ」で見せる
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜シャープが５７型液晶テレビに ハイブリッド・バックライト 部材コスト増大と消費電力増大も抑える
- Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜シャープが「メガコントラスト液晶」を開発 暗所コントラスト１００万：１ ３７型を試作，２００６年に量産へ
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜欠陥レベルは ドライ露光に「あと一歩」
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜高屈折率の液体とガラス材料は 同時にそろうか
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜「ＣＥＡＴＥＣ ＪＡＰＡＮ ２００５」で フルＨＤ５５型ＳＥＤが２台展示 ３６型は「リビング相当の明るさ」で見せる
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜シャープが５７型液晶テレビに ハイブリッド・バックライト 部材コスト増大と消費電力増大も抑える
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜シャープが「メガコントラスト液晶」を開発 暗所コントラスト１００万：１ ３７型を試作，２００６年に量産へ
