Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜高屈折率の液体とガラス材料は 同時にそろうか
日経マイクロデバイス 第245号 2005.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第245号（2005.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全403字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （253kb） |
| 雑誌掲載位置 | 99ページ目 |
９月に開催された「２ｎｄ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ ｏｎ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ」の最終日では，液浸の将来を見すえた材料に関する報告があった。大きなテーマの一つは，次世代を狙った高屈折率液体と高屈折率ガラス材料の開発である。高屈折率液体はＪＳＲと米ＤｕＰｏｎｔ Ｃｏ．より１．６５の屈折率を持つ材料の進展が伝えられた。透過率やレーザーに対する耐久性が改良さ…
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