Ｒｅｐｏｒｔ［Ｎｅｗ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ］〜ソニーがＭＥＭＳ専用ラインを新設へ　手ブレ防止ジャイロを増産
日経マイクロデバイス　第243号　2005.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第243号（2005.9.1）
ページ数	2ページ　（全2008字）
形式	PDFファイル形式　（205kb）
雑誌掲載位置	71〜72ページ目

　ソニーが，ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイス専用の量産ラインを新設する。デジタル・カメラやビデオ・カメラなどに搭載する手ブレ防止用ジャイロ・センサー（角速度センサー）向けである。これまで同社は，既存のＨＤＤ（ｈａｒｄ　ｄｉｓｋ　ｄｒｉｖｅ）装置向け磁気ヘッドなどの製造ラインを流用して，機械的な構造のジャイロを２００１年から量産してきた。このほど，…