Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　直径が原子レベルの空孔寸法を測定〜直径が原子レベルの空孔寸法を測定
日経マイクロデバイス　第239号　2005.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第239号（2005.5.1）
ページ数	1ページ　（全595字）
形式	PDFファイル形式　（137kb）
雑誌掲載位置	101ページ目

　直径が原子レベルの空孔の寸法を測定する装置（図２）。低誘電率膜や高誘電率膜など，ＬＳＩ向け薄膜材料の空孔測定に使える。これまで，直径が原子レベルの小さな空孔を測定するためには，幅が数十ｍにも及ぶ大掛かりな装置が必要だった。今回，これを幅が３ｍといった，実験室に収まるサイズに小型化できた。装置の小型化が可能になったのは，「陽電子寿命測定法」と呼ぶ空孔寸法の測定手法において，陽電子を発生させるための…