ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜日本におけるＭＥＭＳ特許の出願急増 Ｓａｍｓｕｎｇ，ソニー，京セラが躍進 ＭＥＭＳ技術に対する重要度が高まる
日経マイクロデバイス 第239号 2005.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第239号（2005.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全520字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （50kb） |
| 雑誌掲載位置 | 86ページ目 |
日本におけるＭＥＭＳ関連特許の出願が急増している。独立行政法人の工業所有権情報・研修館が２００５年３月末までに集計した２００３〜２００４年のデータによると，各年における特許出願件数では，１９９２〜２０００年が毎年数十件，多くても１００件前後だったのが，２００１〜２００２年には約５００件へと急増した。１９９２〜２０００年の出願件数にはインクジェット・ヘッド向けＭＥＭＳ関連特許は含まれていないが，２…
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