Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜失速していく日本の半導体製造装置　国内立地のＳｉファウンドリに活路
日経マイクロデバイス　第239号　2005.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第239号（2005.5.1）
ページ数	2ページ　（全3142字）
形式	PDFファイル形式　（48kb）
雑誌掲載位置	79〜80ページ目

　日本の半導体製造装置メーカーにかつてのような勢いがなくなっている（図１）。その原因を分析し，今後のあるべき方向を提示する注１）。　原因は大きく二つある。第１に，日本半導体産業の先進性が後退しているためである。現在，６５ｎｍ（ｈｐ９０）世代のプロセス・インテグレーションを準備できている日本のＬＳＩメーカーは，せいぜい１社である。過去に日本のＬＳＩメーカーはプロセスが強いといわれたが，今や東芝など一…