Ｉｎｓｉｄｅ Ｎｅｗ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＭＥＭＳアプリケーション（４）〜ＭＥＭＳアプリケーション（４） 「ポリマーＭＥＭＳ」をＳｉ上に形成 “柔軟・透明”を生かしバイオ・光へ
日経マイクロデバイス 第239号 2005.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第239号（2005.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全5808字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （289kb） |
| 雑誌掲載位置 | 71〜76ページ目 |
倉林 活夫米Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ ＭｉｃｈｉｇａｎＤｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＤｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ＆ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ ＳｃｉｅｎｃｅＡｓｓｉｓｔａｎｔ ＰｒｏｆｅｓｓｏｒＭＥＭＳデバイスの材料をＳｉから高分子樹脂（ポリマー）に変える。そうすると，Ｓｉでは得られない特性・構造のデバイスを開発でき…
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