Ｉｎｓｉｄｅ ＬＳＩ〜「屈折率よりレジストとの反応性を優先」 ＪＳＲが高屈折率液体の開発指針を明らかに
日経マイクロデバイス 第238号 2005.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第238号（2005.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 5ページ （全8106字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （107kb） |
| 雑誌掲載位置 | 78〜82ページ目 |
稗田 克彦ＪＳＲ 電子材料事業部宮松 隆，王 勇，中川 大樹，中村 敦ＪＳＲ 精密電子研究所 高屈折率液体を開発する上で，独自の材料選択指針を導入した（図１０）。屈折率の高さより，レジストとの反応性の低さを優先する考え方である。結果として，屈折率１．６４，透過率９８％／ｍｍの液体を開発できた。この液体を２光束干渉型の露光装置に使い，液浸ＡｒＦ技術で３２ｎｍの線幅／線間隔パターンの解像に成功している…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 550円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「5ページ（全8106字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
- Ｉｎｓｉｄｅ ＬＳＩ 「液浸で歩留まりは改善できる」ＴＳＭＣとＩＢＭが試作チップ〜「液浸で歩留まりは改善できる」 ＴＳＭＣとＩＢＭが試作チップで実証
- Ｉｎｓｉｄｅ ＬＳＩ 囲み 「液浸で歩留まりは改善できる」ＴＳＭＣとＩＢＭが〜ＥＵＶは光源の高出力化にメド 実験機による露光結果が続々
- Ｉｎｓｉｄｅ ＦＰＤ ＬＥＤバックライト液晶が健闘，リアプロは視野角，輝度〜ＬＥＤバックライト液晶が健闘 リアプロは視野角，輝度，応答を改善へ
- Ｉｎｓｉｄｅ ＦＰＤ 囲み ＬＥＤバックライト液晶が健闘，リアプロは視野角，輝度〜画質ベンチマークの意義 定点観測で改善の指針を示す
- Ｉｎｓｉｄｅ ＦＰＤ 「ＧＦＰＣ ２００５」報告，クリスタル・サイクルの対処法は〜「ＧＦＰＣ ２００５」報告 クリスタル・サイクルの対処法は 「きめ細かい投資と部材コスト削減」
Ｉｎｓｉｄｅ ＬＳＩ 「液浸で歩留まりは改善できる」ＴＳＭＣとＩＢＭが試作チップ〜「液浸で歩留まりは改善できる」 ＴＳＭＣとＩＢＭが試作チップで実証
Ｉｎｓｉｄｅ ＬＳＩ 囲み 「液浸で歩留まりは改善できる」ＴＳＭＣとＩＢＭが〜ＥＵＶは光源の高出力化にメド 実験機による露光結果が続々
Ｉｎｓｉｄｅ ＦＰＤ ＬＥＤバックライト液晶が健闘，リアプロは視野角，輝度〜ＬＥＤバックライト液晶が健闘 リアプロは視野角，輝度，応答を改善へ
Ｉｎｓｉｄｅ ＦＰＤ 囲み ＬＥＤバックライト液晶が健闘，リアプロは視野角，輝度〜画質ベンチマークの意義 定点観測で改善の指針を示す
Ｉｎｓｉｄｅ ＦＰＤ 「ＧＦＰＣ ２００５」報告，クリスタル・サイクルの対処法は〜「ＧＦＰＣ ２００５」報告 クリスタル・サイクルの対処法は 「きめ細かい投資と部材コスト削減」
