Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　卓上に設置が可能なＳＥＭ〜卓上に設置が可能なＳＥＭ
日経マイクロデバイス　第237号　2005.3.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第237号（2005.3.1）
ページ数	1ページ　（全642字）
形式	PDFファイル形式　（162kb）
雑誌掲載位置	94ページ目

　卓上に設置できるほどに小型化した走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（図１）。レンズを含む鏡筒と真空ポンプを小型化すると同時に，それらを一つのきょう体に収めることで設置面積を縮小した。これまでは，鏡筒を真空ポンプの近くに設置すると，ポンプの振動によって像がぶれるなどの問題があった。今回，新たに除震技術を開発することによってその問題を解決した。価格は通常のＳＥＭの１／２程度に抑えている。レンズと試料室を小型…