Special Feature コンピューティング革命,「Cell」の野望〜製造プロセス● SOI,ひずみSi駆使しつつ量産性重視
日経マイクロデバイス 第237号 2005.3.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第237号(2005.3.1) |
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ページ数 | 3ページ (全4181字) |
形式 | PDFファイル形式 (304kb) |
雑誌掲載位置 | 41〜43ページ目 |
高性能化を至上命題とする「Cell」は一見,最先端のプロセス技術を詰め込んでいるように見える。実際,90nmノード(hp130)のSOI(silicon on insulator)技術に,独自のひずみSi技術を組み合わせるなど,通常のプロセス技術に比べれば,かなり手が込んでいる(図4)。しかし,その一方で確実な量産立ち上げを実現するために,シンプルなプロセス作りを追及している点も見逃せない。高性…
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