Report[LSI]〜SiCの低損失MOS FET ロームがゲート絶縁膜の新形成法で実現
日経マイクロデバイス 第236号 2005.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第236号(2005.2.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2936字) |
形式 | PDFファイル形式 (95kb) |
雑誌掲載位置 | 98〜99ページ目 |
SiCの本領を発揮できるデバイスが登場した(図1)。Si−MOS FETではこれまで手が届かなかった低損失動作を,ロームがSiC−MOS FETで実現した。今後,SiC−MOS FETの製品化に向けて開発が加速しそうだ注1)。ロームは「2005年中に製品化に向けた課題を解決し,2006年にはサンプル出荷にこぎつけたい」としている。SiCのメリットを生かせる段階に 今回ロームが試作したSiC−MO…
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