Special Feature〜CMP装置市場に新規参入 次はWプラグで攻める
日経マイクロデバイス 第234号 2004.12.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第234号(2004.12.1) |
---|---|
ページ数 | 1ページ (全834字) |
形式 | PDFファイル形式 (214kb) |
雑誌掲載位置 | 120ページ目 |
Richard S. Hill 氏Chairman & CEO われわれはCu配線向けの製造装置市場に注力している。メタル配線や絶縁膜を形成するためのCVDやスパッタ,メッキ装置のほか,CMP(化学的機械研磨)装置などが中心である。この市場は,2004年前半は健全に推移しており,この間にわれわれは台数ベースのシェアを伸ばすことができた。2004年通期では,業界の平均成長率を超える勢いで成長できると…
記事の購入(ダウンロード)
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円(税込)
他のIDで購入する
G-Search ミッケ!は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ(全834字)」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
(注)特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。