Cover Story Part2 囲み 次の本命デバイス,MEMSをつかめ〜次は200mmウエーハ化 ファウンドリは統合へ
日経マイクロデバイス 第234号 2004.12.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第234号(2004.12.1) |
---|---|
ページ数 | 2ページ (全1329字) |
形式 | PDFファイル形式 (333kb) |
雑誌掲載位置 | 106〜107ページ目 |
MEMSデバイスの開発スタイルは,LSIと大きく異なる。MEMSのコンサルティング会社の仏YOLE DE´VELOPPEMENT社General ManagerのJean−Christophe ELOY氏は,MEMSの法則として「1製品,1プロセス,1パッケージ」と主張している。汎用的な製造プロセスでMEMSデバイスを開発するのではなく,1製品に対して固有のプロセスとパッケージが必要になるという…
記事の購入(ダウンロード)
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円(税込)
他のIDで購入する
G-Search ミッケ!は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「2ページ(全1329字)」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
(注)特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。